昕原半导体(上海)有限公司崔凯获国家专利权
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龙图腾网获悉昕原半导体(上海)有限公司申请的专利半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390499U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422243312.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备是由崔凯;乔夫龙;赵刘明;张适杰设计研发完成，并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备，半导体清洗设备的检测装置包括：探测器，探测器包括：信号发射件，被配置为在半导体清洗设备清洗晶圆时向晶圆实时发射第一光信号；信号接收件，被配置为在半导体清洗设备清洗晶圆时实时接收第一光信号经晶圆表面反射后的第二光信号。由此，通过设置探测器并利用光学三角法测量原理来实时检测晶圆的水平度，这样可以在晶圆清洗过程中实时检测晶圆的水平度，以有效防止晶圆在清洗阶段发生过度刻蚀以及膜脱落等情况。
本实用新型半导体清洗设备的检测装置以及半导体清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种适用于半导体清洗设备的检测装置，其特征在于，所述检测装置用于在半导体清洗设备清洗晶圆时对所述晶圆的水平度进行实时检测，所述检测装置包括： 探测器30，所述探测器30包括： 信号发射件301，被配置为在半导体清洗设备清洗晶圆40时向所述晶圆40实时发射第一光信号303； 信号接收件302，被配置为在半导体清洗设备清洗晶圆40时实时接收所述第一光信号303经所述晶圆40表面反射后的第二光信号304。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昕原半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：201315 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号13幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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