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龙图腾网获悉山东省工业技术研究院申请的专利一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197863B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411306420.2，技术领域涉及：G01L7/10；该发明授权一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件是由赵旭;张迎新;倪杰;贺瑞设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件在说明书摘要公布了：本发明涉及传感器领域，具体为一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件，包括壳体，壳体的顶部设置有压力敏感膜，壳体的内部开设有密封腔体，本发明将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在密封腔内的盒体中，屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰；压力敏感膜随着压力变化发生形变，从而带动密封腔体的内气压变化，通过气压的变化带动移动极板移动，移动极板与对应第一固定极板构成第一电容，移动极板与对应第二固定极板构成第二电容，通过检测电容的变化就可以实现对外界压力的检测，移动极板与压力敏感膜无接触，避免了传统电容式MEMS压力传感器中出现的移动极板影响压力敏感膜弯曲形变的问题。

本发明授权一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件在权利要求书中公布了：1.一种防电磁干扰的MEMS压力传感元件，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）的顶部设置有压力敏感膜（2），所述壳体（1）的内部开设有密封腔体（36），所述密封腔体（36）的底部固定设置有底板（8），所述底板（8）顶部的一侧固定设置有盒体（9），所述盒体（9）的顶部安装有盖板（11），所述盖板（11）的底部固定设置有两个陶瓷板（6），两个所述陶瓷板（6）的两侧分别设置有第一固定极板（4）和第二固定极板（7），且第一固定极板（4）和第二固定极板（7）与盖板（11）固定连接，所述盒体（9）底部的两侧均设有侧滑轨（33），两个所述侧滑轨（33）上均滑动连接有滑块（34），两个所述滑块（34）均固定连接有移动极板（5），所述盒体（9）的一侧固定连接有侧板（10），所述侧板（10）上固定安装有两个伸缩机构（3）； 两个所述伸缩机构（3）均包括圆筒（22），所述圆筒（22）的一端固定连接有前端盖（24），所述圆筒（22）的另一端固定连接有后端盖（23），所述后端盖的顶部开设有与圆筒（22）连通的通气孔（25），所述通气孔（25）固定连通有通气管（17），所述圆筒（22）内开设有活塞腔（27），所述活塞腔（27）内滑动连接有活塞（26），所述活塞（26）的一端固定连接有输出轴（28），两个所述输出轴（28）背离活塞（26）的一端穿过前端盖（24）分别与两个移动极板（5）连接。

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