东领科技装备有限公司张远昊获国家专利权
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龙图腾网获悉东领科技装备有限公司申请的专利一种原子层沉积设备的定量输气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386224U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422387553.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种原子层沉积设备的定量输气装置是由张远昊;金在宽;张小强设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种原子层沉积设备的定量输气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种原子层沉积设备的定量输气装置，涉及原子层沉积技术领域。本实用新型包括原子沉积框、输气筒和定量输气构件，原子沉积框、输气筒和定量输气构件自下而上分布连接，定量输气构件包括设置在输气筒顶端的多个定量储气罐，定量储气罐的一侧设置有进气管和出气管，进气管和出气管上分别设置有第一阀门和第二阀门，出气管的一端延伸至输气筒的内部。本实用新型通过设置的定量储气罐能够对气体进行定量储存，之后进行原子层沉积反应加工时，设置的推气构件能够将定量储气罐内部的气体完全向外排出，避免气体的浪费，同时也能够提高气体输送的效率，保证对晶圆体的原子层沉积加工工艺的稳定性。
本实用新型一种原子层沉积设备的定量输气装置在权利要求书中公布了：1.一种原子层沉积设备的定量输气装置，其特征在于，包括原子沉积框1、输气筒4和定量输气构件5，所述原子沉积框1、输气筒4和定量输气构件5自下而上分布连接，所述定量输气构件5包括设置在所述输气筒4顶端的多个定量储气罐501，所述定量储气罐501的一侧设置有进气管502和出气管504，所述进气管502和所述出气管504上分别设置有第一阀门503和第二阀门505，所述出气管504的一端延伸至所述输气筒4的内部，所述定量储气罐501的内部滑动设置有活塞506，所述活塞506的一侧开设有腔槽507，所述定量储气罐501上设置有推动活塞506进行移动的推气构件6，所述推气构件6包括设置在所述定量储气罐501一侧的安装架601，所述安装架601的一侧设置有电动伸缩杆602，所述电动伸缩杆602的伸缩端延伸至所述定量储气罐501的内部。
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