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河南启昂半导体有限公司李孟泽获国家专利权

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龙图腾网获悉河南启昂半导体有限公司申请的专利一种半导体车间智能输送系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390515U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422396498.X,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种半导体车间智能输送系统是由李孟泽;赵立群;周皓;刘杰;韩婉琳设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体车间智能输送系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种半导体车间智能输送系统,包括转动连接在两个支杆两端的两个转轴,两个转轴上设有传送带,两个支杆的尾端设有清洁结构,两个支杆的下方设有吹风机构,清洁结构包括支撑梁、接管和喷头,支撑梁固定安装在两个支杆的尾端上,接管与支撑梁固定安装,喷头安装在接管的底部,两个支杆尾端的下方设有集水框。通过将晶圆依次放置在设有传送带的一侧上,传送带传动带动晶圆移动,当晶圆移动传送带的另一侧时,接管与水源接通,通过喷头喷水,从而能够对晶圆表面清洁,而传送带表面的水能够落到集水框内较低的一侧收集,通过吹风机构能够对下侧的传送带进行吹干,使得该装置在晶圆生产输送过程中便于清洗。

本实用新型一种半导体车间智能输送系统在权利要求书中公布了:1.一种半导体车间智能输送系统,包括转动连接在两个支杆(1)两端的两个转轴(11),两个转轴(11)上设有传送带(12),其特征在于,两个所述支杆(1)的尾端设有清洁结构(2),两个支杆(1)的下方设有吹风机构(3),清洁结构(2)包括支撑梁(201)、接管(202)和喷头(203),支撑梁(201)固定安装在两个支杆(1)的尾端上,接管(202)与支撑梁(201)固定安装,喷头(203)安装在接管(202)的底部,两个支杆(1)尾端的下方设有集水框(4),集水框(4)的底部呈倾斜设置,两个支杆(1)的底部固定安装有支架(5),集水框(4)与支架(5)顶部固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南启昂半导体有限公司,其通讯地址为:464000 河南省信阳市固始县陈淋子镇史河湾产业集聚区19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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