中国电子系统工程第三建设有限公司张洋获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国电子系统工程第三建设有限公司申请的专利湿法刻蚀区独立回风结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390500U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422400392.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型湿法刻蚀区独立回风结构是由张洋;李鹏超;王龙;安振榕设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本湿法刻蚀区独立回风结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了湿法刻蚀区独立回风结构，具体涉及半导体制造技术领域，包括设置在湿法刻蚀区与废气处理设备之间的独立回风机构，独立回风机构包括安装在靠近湿法刻蚀区一侧的导风罩，导风罩的一端连通有伸缩软管，伸缩软管的一端部连接有抽风机，抽风机的出风端连接有出风管。本实用新型通过在导风罩与抽风机之间设置可伸缩的伸缩软管，能够在使用时方便调节导风罩的位置和角度后再利用支架固定导风罩，从而能够根据实际需要对湿法刻蚀区不同位置产生的废气进行抽离，且通过将输送的管体设置为分体式结构，方便进行组装与拆卸，且能够根据需要对不同位置的中间管进行拆卸，进而清理中间管管体内壁的附着灰尘。
本实用新型湿法刻蚀区独立回风结构在权利要求书中公布了：1.湿法刻蚀区独立回风结构，包括设置在湿法刻蚀区与废气处理设备之间的独立回风机构，其特征在于：所述独立回风机构包括安装在靠近湿法刻蚀区一侧的导风罩1，所述导风罩1的一端连通有伸缩软管2，所述伸缩软管2的一端部连接有抽风机3，所述抽风机3的出风端连接有出风管4，所述出风管4的端部连通有第一导流组件5，所述第一导流组件5的一侧连接有若干个中间管6，多个中间管6的端部连通有与第一导流组件5位置对应的第二导流组件7，所述第二导流组件7的外壁连通有与废气处理设备输入口连接的废气输入管8。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子系统工程第三建设有限公司，其通讯地址为：610073 四川省成都市金牛区解放路一段2号5栋；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励