苏州天准科技股份有限公司孙靖获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州天准科技股份有限公司申请的专利花篮循环供给的插片装置和连续插片方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119297115B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411382469.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权花篮循环供给的插片装置和连续插片方法是由孙靖;王承平;徐伟锋;熊勇;薛峰设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本花篮循环供给的插片装置和连续插片方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种花篮循环供给的插片装置和连续插片方法,属于硅片生产制造领域,插片装置包括依次布置的分片模块、抽片模块、预分选插片输送模块和快速换篮模块;在快速换篮模块的下游并排的布置空花篮翻转模块和满花篮翻转输送模块,在空花篮翻转模块和满花篮翻转输送模块上方布置花篮吊装模块;快速换篮模块的夹篮在换篮横移模块和换篮升降模块的驱控下在转运安装立板的侧面沿着口字形路径移动;本装置模块化设计,便于实现并排多线设置,集成分片、抽片、预分选、插片、花篮循环供给和转运等工位,保证了插片的成品率,并可以灵活控制输送速率,保证了工艺节拍,提高了工作效率,便于在硅片等片材的检测及生产加工领域推广应用。
本发明授权花篮循环供给的插片装置和连续插片方法在权利要求书中公布了:1.一种花篮循环供给的插片装置,其特征在于:插片装置包括依次横向布置的分片模块(100)、抽片模块(200)、预分选插片输送模块(300)和快速换篮模块(400);在快速换篮模块(400)的下游并排的布置空花篮翻转模块(500)和满花篮翻转输送模块(600),在所述空花篮翻转模块(500)和满花篮翻转输送模块(600)上方布置花篮吊装模块(700); 其中,所述快速换篮模块(400)包括两组相对设置的转运安装立板(410)、换篮横移模块(420)、换篮升降模块(430)和夹篮(440);所述换篮横移模块(420)安装至所述转运安装立板(410)的侧面上;所述夹篮(440)在所述换篮横移模块(420)和换篮升降模块(430)的驱控下在所述转运安装立板(410)的侧面沿着口字形路径移动,实现空花篮沿横向供给和满花篮沿横向退出的循环转运; 空花篮翻转模块(500)包括花篮翻转机构(510)、花篮翻转传输机构(520)和花篮传输阻挡机构(530);所述花篮翻转机构(510)设置在花篮翻转传输机构(520)的一端,用于翻转花篮;所述花篮翻转传输机构(520)水平布置,用于水平传送花篮;所述花篮传输阻挡机构(530)设置在花篮翻转传输机构(520)的传输线上,用于花篮传输的阻挡控制; 花篮翻转机构(510)包括翻转轴模块(511)、翻转驱动模块(512)、翻转垫板组件(513)、翻转背板组件(514)、翻转上夹紧组件(515);翻转垫板组件(513)的一端底部固定连接至所述翻转轴模块(511)上,所述翻转背板组件(514)竖直的固定至所述翻转垫板组件(513)上,在所述翻转背板组件(514)的顶部和底部对应的设置翻转上夹紧组件(515)和翻转下夹紧组件(516),所述翻转驱动模块(512)连接至所述翻转轴模块(511)上或连接至所述翻转背板组件(514)上。
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