鼎洲科技股份有限公司陈延方获国家专利权
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龙图腾网获悉鼎洲科技股份有限公司申请的专利晶圆盒及其支撑架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390510U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422436997.7,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型晶圆盒及其支撑架是由陈延方设计研发完成,并于2024-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒及其支撑架在说明书摘要公布了:一种晶圆盒及其支撑架,所述晶圆盒包含壳体及两个支撑架,每一所述支撑架包括至少一支柱、多个支撑片,及至少一分隔组件。所述支柱沿高度方向延伸。所述支撑片能拆卸地套设于所述支柱并沿所述高度方向排列。所述分隔组件具有能拆卸地套设于所述支柱的多个套筒,所述套筒分隔所述支撑片使所述支撑片彼此相间隔,每两个相邻的所述支撑片间的所述支柱安装有至少一个所述套筒,每两个相邻的所述支撑片间的所述支柱上的所述套筒数量能选择性变换。所述支撑架损坏时不需要替换整个晶圆盒,同时不需要为了不同精度的机械手臂另外开模制作整个所述晶圆盒,节省开模成本,也降低置换成本。
本实用新型晶圆盒及其支撑架在权利要求书中公布了:1.一种支撑架;其特征在于:所述支撑架包含: 至少一支柱,沿高度方向延伸; 多个支撑片,能拆卸地套设于所述支柱并沿所述高度方向排列;及 至少一分隔组件,包括能拆卸地套设于所述支柱的多个套筒,所述套筒分隔所述支撑片使所述支撑片彼此相间隔,每两个相邻的所述支撑片间的所述支柱安装有至少一个所述套筒,每两个相邻的所述支撑片间的所述支柱上的所述套筒数量能选择性变换。
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