江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司黄凯健获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种供液装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223382160U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422481767.2，技术领域涉及：B08B3/08；该实用新型一种供液装置是由黄凯健;屠国强;徐铭设计研发完成，并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种供液装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种供液装置，其中，所述供液装置包括：两个供液槽，所述供液槽内贮存有所述化学药液；每个所述供液槽分别包括：槽体，所述槽体的上表面具有开口；盖板，所述盖板覆盖于所述开口的上方，并与所述槽体的上表面固定连接；所述槽体包括多个槽孔，每个所述槽孔分别靠近所述槽体的下表面的顶角设置，每个所述槽孔分别安装有一个对应的外部接头；所述外部接头分别连接外部的清洗设备或输液管道。本实用新型中通过设置两个供液槽，通过两个供液槽之间相互切换使用，从而提高供液槽的供给效率，实现在清洗设备清洗过程中不间断提供化学药液，以提高生产效率；其次由于化学药液的不断提供也可以使晶圆的清洗效果更佳。
本实用新型一种供液装置在权利要求书中公布了：1.一种供液装置，其特征在于，所述供液装置包括： 两个供液槽，所述供液槽内贮存有化学药液； 每个所述供液槽分别包括： 槽体，所述槽体的上表面具有开口； 盖板，所述盖板覆盖于所述开口的上方，并与所述槽体的上表面固定连接； 所述槽体包括多个槽孔，每个所述槽孔分别靠近所述槽体的下表面的顶角设置，每个所述槽孔分别安装有一个对应的外部接头； 所述外部接头分别连接外部的清洗设备或输液管道。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏启微半导体设备有限公司;至微半导体(上海)有限公司，其通讯地址为：226200 江苏省南通市启东市牡丹江西路2888号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励