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龙图腾网获悉无锡国悦电子科技有限公司申请的专利一种晶圆静电吸盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390532U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422485610.7，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆静电吸盘是由尹国君;杨占山设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆静电吸盘在说明书摘要公布了：本实用新型涉及静电吸盘技术领域，具体涉及一种晶圆静电吸盘，它包括静电吸盘基板，所述静电吸盘基板的顶部设有粘接盘，所述粘接盘的上方设有陶瓷盘，所述陶瓷盘通过粘接盘固定于静电吸盘基板的上方，所述陶瓷盘与静电吸盘基板的内部设有晶圆温度控制模块，所述晶圆温度控制模块包括冷却孔与加热孔，所述承接孔的内部设有可上下活动的承接顶针，所述陶瓷盘的上方还设有冷却孔与加热孔，所述冷却孔与加热孔沿陶瓷盘一周依次间隔设置分布，本实用新型通过在陶瓷绝缘层上均匀地设置加热孔与冷却孔，可有效控制晶圆与结缘层温度。

本实用新型一种晶圆静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种晶圆静电吸盘，其特征在于：包括静电吸盘基板（1），所述静电吸盘基板（1）的顶部设有粘接盘（2），所述粘接盘（2）的上方设有陶瓷盘（3），所述陶瓷盘（3）通过粘接盘（2）固定于静电吸盘基板（1）的上方，所述静电吸盘基板（1）的内部设有静电电极（4），所述陶瓷盘（3）与静电吸盘基板（1）的内部设有晶圆温度控制模块，所述晶圆温度控制模块包括冷却孔与加热孔，所述冷却孔与加热孔设置于陶瓷盘（3）上方，所述冷却孔与加热孔沿陶瓷盘（3）一周依次间隔设置分布，所述冷却孔的上端为冷却出气口（7），所述冷却孔的孔腔自上而下连通至静电吸盘基板（1）的下方位置，并且冷却孔的下端为冷却进气口（8），所述加热孔呈纵向方向分布于陶瓷盘（3）内部，所述加热孔的上端为加热出气口（10），所述加热孔的下端并未延伸至静电吸盘基板（1）内部，所述陶瓷盘（3）的侧壁处设有与加热孔连通的加热进气口（9），加热进气口（9）的内部设有横向延伸至加热出气口（10）位置的加热孔腔，所述陶瓷盘（3）的表面还设有承接孔（5），所述承接孔（5）的内部设有可上下活动的承接顶针（6）。

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