北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司翟冬梅获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利一种加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390501U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422485150.8，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种加热装置是由翟冬梅;刘伟;范朋伟设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种加热装置，用于激光退火设备，包括：控制单元和加热台，加热台包括加热区域，加热区域的形状和尺寸与被加热晶圆的形状和尺寸适配，加热区域被划分为若干分区，若干分区至少包括第一分区，第一分区位于加热区域的边缘，控制单元分别电连接若干分区，并分别独立控制若干分区的温度。本申请的加热装置通过对加热台每个分区分别进行温度补偿，解决晶圆受热不均的问题，使晶圆边缘处受热均一性明显改善。
本实用新型一种加热装置在权利要求书中公布了：1.一种加热装置，用于激光退火设备，其特征在于，包括控制单元和加热台，所述加热台包括加热区域，所述加热区域的形状和尺寸与被加热晶圆的形状和尺寸适配，所述加热区域被划分为若干分区，若干所述分区至少包括第一分区，所述第一分区位于所述加热区域的边缘，所述控制单元分别电连接若干所述分区，并分别独立控制若干所述分区的温度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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