拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司潘丽君获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利加热盘角度调节装置及半导体器件的加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386231U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422496499.1，技术领域涉及：C23C16/46；该实用新型加热盘角度调节装置及半导体器件的加工设备是由潘丽君;闻皓岩;白海健;王宏耀设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本加热盘角度调节装置及半导体器件的加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种加热盘角度调节装置，以及一种半导体器件的加工设备。所述加热盘角度调节装置包括：支撑座，固定连接半导体器件加工设备的机台，其上表面设有沿周向分布的多个第一限位结构；以及球座，其上端连接加热盘本体，而其下表面设有沿周向分布的多个第二限位结构，用于配合所述多个第一限位结构，以调节并锁定所述加热盘本体的周向偏转角度。用于免除安装加热盘旋转机构，就能实现周向角度调节，从而降低密封、传动和维修方面的局限性，有效降低成本。
本实用新型加热盘角度调节装置及半导体器件的加工设备在权利要求书中公布了：1.一种加热盘角度调节装置，其特征在于，包括： 支撑座，固定连接半导体器件加工设备的机台，其上表面设有沿周向分布的多个第一限位结构；以及 球座，其上端连接加热盘本体，而其下表面设有沿周向分布的多个第二限位结构，用于配合所述多个第一限位结构，以调节并锁定所述加热盘本体的周向偏转角度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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