南京大学;合肥国家实验室张蜡宝获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学;合肥国家实验室申请的专利非晶钨超导纳米线单光子探测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119365061B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411436304.2，技术领域涉及：H10N60/01；该发明授权非晶钨超导纳米线单光子探测器是由张蜡宝;马良;王昊;陈奇;管焰秋;魏晨;杨焯林设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本非晶钨超导纳米线单光子探测器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种非晶钨超导纳米线单光子探测器，包括光敏部件，光敏部件为非晶钨超导纳米线；非晶钨超导纳米线非晶钨超导纳米线通过以下步骤制备得到：1在衬底上生长非晶钨薄膜；2利用电子束曝光和反应离子刻蚀法将非晶钨膜刻蚀成迂回纳米线结构，得到非晶钨超导纳米线。本发明采用稳定性好的钨纳米线作为SNSPD的主体材料，提高了SNSPD制备工艺的鲁棒性，延长了SNSPD器件的实际应用中的使用寿命。
本发明授权非晶钨超导纳米线单光子探测器在权利要求书中公布了：1.一种非晶钨超导纳米线单光子探测器，包括光敏部件，其特征在于，所述光敏部件为非晶钨超导纳米线；所述非晶钨超导纳米线通过以下步骤制备得到： （1）在衬底上生长非晶钨薄膜； （2）利用电子束曝光和反应离子刻蚀法将非晶钨膜刻蚀成迂回纳米线结构，得到非晶钨超导纳米线；所述电子束曝光剂量设置为200-400µCcm2，采用图像矫正和剂量矫正以保证纳米线宽度均匀。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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