浙江创芯集成电路有限公司张勇获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种晶圆传递单元及晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390502U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422511433.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆传递单元及晶圆处理设备是由张勇设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传递单元及晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆传递单元及晶圆处理设备。本申请实施例提供的晶圆传递单元包括：底板；晶圆存储部，固定在所述底板的顶面上；晶圆承载部，用于承载晶圆，所述晶圆承载部位于所述晶圆存储部上方，与所述晶圆存储部之间形成存储腔；晶圆检测部，位于所述底板的两端端部，所述晶圆检测部上设置有扫描部件，所述扫描部件的扫描范围覆盖所述晶圆的平面面积，在扫描的晶圆平面数据指示晶圆变形时，指示将位于晶圆承载部上的晶圆放置于所述存储腔。本申请实施例提供的技术方案通过晶圆传递单元中设置的晶圆检测部对晶圆承载部上的晶圆进行扫描检测，避免半导体制造设备因晶圆变形导致的报警和运行中断，提高生产效率。
本实用新型一种晶圆传递单元及晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传递单元，其特征在于，包括： 底板； 晶圆存储部，固定在所述底板的顶面上； 晶圆承载部，用于承载晶圆，所述晶圆承载部位于所述晶圆存储部上方，与所述晶圆存储部之间形成存储腔； 晶圆检测部，位于所述底板的两端端部，所述晶圆检测部上设置有扫描部件，所述扫描部件的扫描范围覆盖所述晶圆的平面面积，所述扫描部件用于在扫描的晶圆平面数据指示晶圆变形时，指示将位于晶圆承载部上的晶圆放置于所述存储腔。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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