东南大学聂萌获国家专利权
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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119543870B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411441641.0，技术领域涉及：H03H9/17；该发明授权一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器是由聂萌;王磊;刘运鸿设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器，在有效谐振区域的其中一条或多条边外侧，沿远离有效谐振区域的方向，在压电薄膜的下表面和上表面依次交替设有若干凹槽；凹槽长度方向与所对应有效谐振区域的边平行，从而使该边外侧区域的压电薄膜形成声传输结构，并在远离有效谐振区域的边缘设置空气槽。本发明提出的一种FBAR结构，通过在有效谐振区外的压电薄膜层设计独特的凹槽结构来形成声传输结构，将横向模态的传播路径扩展到有效谐振区外，在更小有效谐振区域的FBAR中实现有效地增加寄生模态的传播路径，抑制寄生模态驻波的形成，进而减少次谐振现象的产生，提高谐振点处的品质因数，提高了滤波器的整体性能。
本发明授权一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器在权利要求书中公布了：1.一种具有声传输结构的薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：声学镜（2）、底电极（3）、压电薄膜（4）、顶电极（5）和空气槽（9）；其中，底电极（3）设置于声学镜（2）之上，压电薄膜（4）设置在底电极（3）与上方的顶电极（5）之间；所述声学镜（2）、底电极（3）、压电薄膜（4）和顶电极（5）在谐振器厚度方向上的重叠区域构成有效谐振区域；所述有效谐振区域的形状为边数大于四的多边形；在所述有效谐振区域的其中一条或多条边外侧，沿远离所述有效谐振区域的方向，在压电薄膜（4）的下表面和上表面依次交替设有若干凹槽（6）；所述凹槽（6）长度方向与所对应有效谐振区域的边平行，从而使该边外侧区域的压电薄膜（4）形成声传输结构；空气槽（9）设置在压电薄膜（4）上远离所述有效谐振区域的边缘。
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