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龙图腾网获悉北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利工件处理装置、工艺设备及工件处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340251B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411449679.2，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权工件处理装置、工艺设备及工件处理方法是由么曼实;罗功林;李海卫;王春雷;刘春峰设计研发完成，并于2024-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本工件处理装置、工艺设备及工件处理方法在说明书摘要公布了：本公开提供了工件处理装置、工艺设备及工件处理方法，涉及半导体加工领域。工件处理装置，包括：承载件，承载件包括托盘及套筒，套筒连接于托盘背离工件的下表面；套筒具有第一中心孔，第一中心孔具有内螺纹段及非螺纹段，内螺纹段靠近第一中心孔的下端设置；支撑件，支撑件包括底板及衬套，衬套连接于底板的上表面，衬套背离工件处理装置的中轴线的外侧面具有外螺纹段；第一进气管路，第一进气管路流出的气体用于向上托举承载件；第二进气管路及第三进气管路，第二进气管路路流出的气体用于推动承载件沿第一方向转动，第三进气管路路流出的气体用于推动承载件沿第二方向转动，第二方向与第一方向相反。本公开能实现多维运动。

本发明授权工件处理装置、工艺设备及工件处理方法在权利要求书中公布了：1.一种工件处理装置，包括： 承载件，所述承载件包括托盘及套筒，所述托盘用于承载工件，所述套筒连接于所述托盘背离所述工件的下表面；所述套筒具有第一中心孔，所述第一中心孔具有内螺纹段及非螺纹段，所述内螺纹段靠近所述第一中心孔的下端设置；所述内螺纹段朝向所述工件处理装置的中轴线的内侧面相对于所述非螺纹段的内侧面，向内凸出设置； 支撑件，所述支撑件包括底板及衬套，所述衬套连接于所述底板的上表面，所述衬套背离所述工件处理装置的中轴线的外侧面具有外螺纹段，所述外螺纹段的外螺纹能够与所述内螺纹段的内螺纹配合； 第一进气管路，所述第一进气管路流出的气体用于向上托举所述承载件；其中，在所述承载件运动至所述内螺纹段与外螺纹端分离之后，所述第一进气管路流出的气体用于将所述承载件保持在目标位置； 第二进气管路及第三进气管路，所述第二进气管路路流出的气体用于推动所述承载件沿第一方向转动，所述第三进气管路路流出的气体用于推动所述承载件沿第二方向转动，所述第二方向与第一方向相反。

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