四川永祥多晶硅有限公司马康获国家专利权
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龙图腾网获悉四川永祥多晶硅有限公司申请的专利三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223388995U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422514211.9,技术领域涉及:F28D15/02;该实用新型三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管是由马康;刘逸枫;彭勇;童建才;李伟;周树云设计研发完成,并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管在说明书摘要公布了:本实用新型公开了三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管,属于多晶硅生产技术领域,包括设置在合成炉内的高效换热管以及设置在合成炉外的冷却水夹套;所述高效换热管一端伸入合成炉内,另一端伸入所述冷却水夹套中,高效换热管内部填充有液相工质,其位于合成炉内的一端通过受热蒸发形成的蒸汽带着汽化潜热输送到高效换热管另一端,经冷却水夹套冷却后,再通过毛细作用使冷凝后的液相工质再次返回到炉内,如此往复进行循环热能导出。本实用新型采用高效换热管代替原有的冷束管对三氯氢硅合成炉进行温度控制,配合通有循环冷却水的冷却水夹套,通过毛细作用进行炉内热端和炉外冷端的反复循环,可以实现将炉内过多的热能稳定导出。
本实用新型三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管在权利要求书中公布了:1.三氯氢硅合成炉的低泄漏高效换热管,其特征在于,包括设置在合成炉内的高效换热管(2)以及设置在合成炉外的冷却水夹套(3);所述高效换热管(2)一端伸入合成炉内,另一端伸入所述冷却水夹套(3)中,高效换热管(2)内部填充有液相工质,其位于合成炉内的一端通过受热蒸发形成的蒸汽带着汽化潜热输送到高效换热管(2)另一端,经冷却水夹套(3)冷却后,再通过毛细作用使冷凝后的液相工质再次返回到炉内,如此往复进行循环热能导出。
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