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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119092443B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411453991.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗装置是由庞金明;孙永胜;李松松;祁志明;林海飞设计研发完成，并于2024-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆清洗技术领域，具体的说是一种晶圆清洗装置，包括机体，机体内部设有用于夹持晶圆片的调节结构，机体的上端设有清洁结构，且清洁结构用于对晶圆片进行清洁；清洁结构包括喷嘴，喷嘴设在机体的上端。通过设置若干个夹持板和限位环，在晶圆片进行旋转清洁的时候，夹持板将自动转动至与晶圆片的上表面接触，由于晶圆片的下表面与放置板接触，此时将会降低晶圆片发生上下偏移的概率，并且位于放置板表面的限位环也会将晶圆片的侧壁紧紧抵接住，使得晶圆片不会发生水平方向的偏移，此时在晶圆片旋转清洗的时候，就不会发生偏移的现象，并且在清洗完成，将放置板向上移动时，夹持板和限位环也将会自动打开，以便晶圆片的取出。

本发明授权一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于：包括机体，机体内部设有用于夹持晶圆片的调节结构，机体的上端设有清洁结构，且清洁结构用于对晶圆片进行清洁； 清洁结构包括喷嘴，喷嘴设在机体的上端，且喷嘴用于喷射清洗液； 调节结构包括： 卡接盘，卡接盘转动连接在机体的内部； 若干个放置板，若干个放置板设在卡接盘的上端，且放置板的表面用于放置晶圆片； 夹持板，夹持板转动连接在放置板的表面； 齿轮，齿轮设在放置板的侧壁，且齿轮与夹持板相连接； 齿条，齿条设在机体的内壁，且齿条与齿轮相啮合； 机体的内部开设有出水槽，且机体的内部转动连接有旋转盘，且旋转盘与卡接盘相连接，清洁结构还包括： 通液管，通液管设在机体上端，且通液管与喷嘴相连通； 调节结构还包括： 连接臂，连接臂设在卡接盘的上端，且连接臂的一端与放置板相连接； 安装板，安装板设在机体内壁靠近齿条的一端，且齿条与安装板相连接； 放置板的表面滑动连接有限位环，且限位环与晶圆片相抵接； 限位环靠近安装板的一端设有伸缩杆，伸缩杆远离限位环的一端设有辅助滚轮，且辅助滚轮与机体的内壁相接触； 伸缩杆的圆弧面套有调节弹簧，且调节弹簧的一端与放置板相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇泾祥路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。