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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种扬尘颗粒缓冲装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386220U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422520713.2，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种扬尘颗粒缓冲装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种扬尘颗粒缓冲装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种扬尘颗粒缓冲装置，缓冲装置设置于缓冲区远离蒸镀工艺区的一侧的侧壁上，蒸镀工艺区的顶部设有镀锅，蒸镀工艺区的底部设有蒸发源，蒸镀工艺区的靠近蒸发源高度处的一侧壁设有开口与缓冲区连通，缓冲装置包括导流座，缓冲区的外侧壁连接有闷板，闷板的外侧连接电磁阀，闷板的内侧连接导流座，导流座为一导流座外壳围设形成的中空结构，导流座的中空结构内设有气流主通道，导流座外壳的侧壁均匀间隔设有若干气流散逸孔，气流主通道与若干气流散逸孔连通，当需要破真空时打开电磁阀，使得一股强气流从气流主通道进入，通过若干气流散逸孔均匀分成多股散的小气流喷射在缓冲区内，有效减少扬尘的量和密度。

本实用新型一种扬尘颗粒缓冲装置在权利要求书中公布了：1.一种扬尘颗粒缓冲装置，所述缓冲装置5设于缓冲区2，所述缓冲区2与蒸镀工艺区1连通，其特征在于：所述缓冲装置5设置于缓冲区2远离蒸镀工艺区1的一侧的侧壁上，所述蒸镀工艺区1的顶部设有镀锅，蒸镀工艺区1的底部设有蒸发源，蒸镀工艺区1的靠近蒸发源高度处的一侧壁设有开口与所述缓冲区2连通，使得缓冲装置5吹出的气体先经过缓冲区2缓冲再到达蒸镀工艺区1，所述缓冲装置5包括导流座51，所述缓冲区2的外侧壁连接有闷板4，所述闷板4的外侧连接电磁阀3，闷板4的内侧连接导流座51，所述导流座51为一导流座外壳围设形成的中空结构，所述导流座51的中空结构内设有气流主通道7，所述导流座外壳的侧壁均匀间隔设有若干气流散逸孔9，所述气流主通道7与所述若干气流散逸孔9连通，当需要破真空时打开电磁阀3，使得一股强气流从气流主通道7进入，通过若干气流散逸孔9均匀分成多股散的小气流喷射在缓冲区2内，使得强气流非直接喷向蒸镀工艺区1，有效减少扬尘的量和密度。

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