深圳市纳设智能装备股份有限公司李亚强获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市纳设智能装备股份有限公司申请的专利一种冷却组件及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386222U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422569399.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种冷却组件及半导体设备是由李亚强;向常汉;肖蕴章;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种冷却组件及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种冷却组件及半导体设备，涉及化学气相沉积技术领域。冷却组件包括进液管路、回液管路、旁通管路、温度检测单元以及至少两个冷却支路；冷却支路具有连接进液管路的冷却支路进液端和连接回液管路的冷却支路回液端，还具有连通冷却支路进液端的进液接头以及连通冷却支路回液端的回液接头，冷却支路上设置有支路流量阀；旁通管路具有连接进液管路的旁通管路进液端和连接回液管路的旁通管路回液端。进液接头和回液接头与待冷却部件连接，通过温度检测单元获取待冷却部件的温度信息，通过支路流量阀调节冷却支路的冷却液流量，使待冷却部件得以均匀地被冷却，不易影响产品质量，也不易出现部件报废的情况。
本实用新型一种冷却组件及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却组件，其特征在于，包括： 进液管路； 回液管路； 至少两个冷却支路，所述冷却支路具有冷却支路进液端和冷却支路回液端，还具有连通所述冷却支路进液端的进液接头以及连通所述冷却支路回液端的回液接头，所述冷却支路进液端与所述进液管路连接，所述冷却支路回液端与所述回液管路连接，所述进液接头和所述回液接头用于连接待冷却部件，所述冷却支路上设置有支路流量阀； 旁通管路，所述旁通管路具有旁通管路进液端和旁通管路回液端，所述旁通管路进液端与所述进液管路连接，所述旁通管路回液端与所述回液管路连接；以及 温度检测单元，所述温度检测单元用于获取所述待冷却部件的温度信息，所述支路流量阀用于根据所述温度信息调节所述冷却支路的冷却液流量。
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