力集泓光电科技(南通)有限公司黎弈夆获国家专利权
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龙图腾网获悉力集泓光电科技(南通)有限公司申请的专利一种晶圆花篮卡具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390533U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422606470.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种晶圆花篮卡具是由黎弈夆;杨志伟;吴钰斌;王钰阳;沙建林设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆花篮卡具在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种晶圆花篮卡具。包括放置支架,花篮,在所述放置支架上的两个卡接容纳槽内均设有一所述花篮;挂架连接块,本实用新型中,通过在放置支架上两侧处对称设置两个卡接容纳槽,来实现一次平稳挂载两个相同尺寸的花篮,则可同时进行两个花篮内所有4寸、6寸或8寸晶圆的同步清洗加工,加工效率可得到明显提升。放置支架可拆卸连接在挂架连接块上,通过T形连接槽、竖直连接横板、限位板实现二者之间的快速稳定安装,不会出现放置支架滑落的情况,避免安全隐患。当需要进行不同尺寸的晶圆清洗加工时,仅需要替换相应规格的放置支架即可,而放置支架与挂架连接块之间为螺纹连接,替换方便省力。
本实用新型一种晶圆花篮卡具在权利要求书中公布了:1.一种晶圆花篮卡具,其特征在于:包括 放置支架,所述放置支架竖向设置,包括一L形主板,所述L形主板包括一底部水平段,在该底部水平段两侧对称设有一卡接容纳槽; 花篮,在所述放置支架上的两个卡接容纳槽内均设有一所述花篮; 挂架连接块,所述挂架连接块可拆卸安装在所述放置支架的顶部。
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