北京理工大学胡摇获国家专利权
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龙图腾网获悉北京理工大学申请的专利基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119397789B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411505867.2,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置是由胡摇;熊宗俊;徐楚恒;郝群设计研发完成,并于2024-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置,只需载入轮廓仪测得的面形数据文件以及衍射光学元件的设计参数文件便可对轮廓仪测得的面形数据的位姿误差进行校正,并在同时对该面形的各评价指标进行计算,简化了操作流程并提高了对于衍射光学元件面形评价的准确性。方法包括:1读取测量数据以及设计参数;2最小二乘法拟合;3补偿位姿误差;4提取台阶部分;5检测梯度突变点以确定环带位置;6计算台阶高度;7剔除补偿位姿误差后的面形数据的各台阶附近部分数据;8计算面形误差评价指标。
本发明授权基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法及装置在权利要求书中公布了:1.基于最小二乘法衍射光学元件面形数据处理方法,其特征在于:其包括以下步骤: 1读取测量数据以及设计参数:将轮廓仪的测量数据以及衍射光学元件设计参数从记录文件中读取; 2最小二乘法拟合:通过复合优化函数对读取的测量数据进行最小二乘法拟合,优化出测量数据的平移与偏转的位姿误差以及顶点曲率半径误差; 3补偿位姿误差:根据步骤2中优化出的位姿误差数据,通过坐标变换对测量数据中的平移与偏转的位姿误差进行补偿; 4提取台阶部分:对补偿了位姿误差后的面形数据减去理论平面中的非台阶部分以提取出衍射光学元件的衍射面台阶部分; 5检测梯度突变点以确定环带位置:首先对步骤4中提取出的台阶部分进行高斯滤波处理,随后对其进行求梯度处理并检测梯度突变点位置以确定衍射光学元件环带位置; 6计算台阶高度:对于每一级环带,分别用一定长度窗口内的数据平均值作为上一级环带与下一级环带的高度,通过两者相减计算出各台阶高度; 7剔除补偿位姿误差后的面形数据的各台阶附近部分数据:根据步骤1中读取的剔除宽度参数,对步骤3中补偿了位姿误差后的衍射光学元件面形数据以步骤5中所检测到的各梯度突变点位置为中心分别进行数据剔除; 8计算面形误差评价指标,用步骤7中剔除了台阶附近数据后的面形数据计算衍射光学元件各面形误差评价指标。
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