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上海三井光中真空设备股份有限公司蒋罗荣获国家专利权

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龙图腾网获悉上海三井光中真空设备股份有限公司申请的专利一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390494U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422628812.2,技术领域涉及:H01J41/12;该实用新型一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构是由蒋罗荣设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及离子泵技术领域,且公开了一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构,包括有:阳极、钛阴极以及钽片,所述钛阴极整体呈片状结构,钛阴极设置在阳极的两侧,且钛阴极与阳极之间留有缝隙;所述钽片设置在钛阴极朝向阳极的一侧,且钽片设置有多片;所述钽片整体呈圆形片状结构,所述钽片设置在阳极的中间线上;所述钛阴极的边角处设置有安装孔;本实用新型所提供的结构,通过将钽片与钛阴极结合起来,利用金属钽的物理特性,能够优化泵内部的磁场分布、电极配置和气体流动路径,旨在减少离子再复合现象,提高气体分子的均匀吸附效率,从而实现更稳定和高效的抽氩过程。

本实用新型一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构在权利要求书中公布了:1.一种减少离子泵的抽氩不稳定性的结构,其特征在于,包括有:阳极1、钛阴极2以及钽片3,所述钛阴极2整体呈片状结构,钛阴极2设置在阳极1的两侧,且钛阴极2与阳极1之间留有缝隙;所述钽片3设置在钛阴极2朝向阳极1的一侧,且钽片3设置有多片;所述钽片3整体呈圆形片状结构,所述钽片3设置在阳极1的中间线上;所述钛阴极2的边角处设置有安装孔24。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海三井光中真空设备股份有限公司,其通讯地址为:201700 上海市青浦区华新镇华强街675号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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