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南京大学陶涛获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种DBR反射镜的制备方法及激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119433484B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411514815.1,技术领域涉及:C23C16/01;该发明授权一种DBR反射镜的制备方法及激光器是由陶涛;何宏晖;闫庆雨;牛庆翔;胡泽华;窦蓉蓉;谢自力;庄喆;智婷;刘斌设计研发完成,并于2024-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

一种DBR反射镜的制备方法及激光器在说明书摘要公布了:本发明公开了一种DBR反射镜的制备方法。该方法能够高效转移在金属薄膜上生长的DBR,并制备成低阈值激光器。具体而言,DBR在高温环中生长时,由于金属薄膜的热应力导致自剥离,利用胶带固定剥离的DBR,可以实现二次转移。本发明克服了传统转移技术的局限,利用生长DBR时的高温环境实现自剥离,使得工艺更加简单高效。本发明利用转移好的DBR制备的激光器可以获得更高的性能。

本发明授权一种DBR反射镜的制备方法及激光器在权利要求书中公布了:1.一种DBR反射镜的制备方法,其特征在于其步骤包括: (1)在衬底上蒸镀金属薄膜层; (2)对金属薄膜层进行N2氛围退火; (3)利用PECVD设备在金属薄膜层上生长DBR结构; (4)利用金属薄膜的热应力使得生长的DBR自行剥离; 其中步骤(2)具体为:在氮气气氛下,在300-500℃快速退火5-15min处理金属薄膜,以消除生长金属薄膜的内在应力; 金属薄膜层采用金属金、银或镍,厚度为10-100nm; DBR的生长温度为150-350℃。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210046 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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