无锡固翌智能科技有限公司税小明获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡固翌智能科技有限公司申请的专利一种晶圆环变距上料装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390516U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422648219.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆环变距上料装置是由税小明;徐会首设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环变距上料装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆环变距上料装置。包括固定工装、上料机构、调整机构；所述上料机构上设置有调整机构，所述调整机构上设置有固定工装，所述固定工装内设置有上料工位，所述上料机构输出端位于上料工位下方；所述调整机构包括旋转座、旋转机构、移动机构，旋转座中心开孔，上料机构输出端位于旋转座中心下方，旋转座与旋转机构传动连接，旋转座上设置有移动机构；所述固定工装包括限位柱、支撑环、托板，支撑环设置在旋转座上，支撑环上设置有托板，托板上形成上料工位，托板周向上均匀分布有限位柱，限位柱设置在对应的移动机构上，限位柱之间形成的内切圆与晶圆环尺寸相匹配。本实用新型大大提高了晶圆环上料效率，降低了生产成本。
本实用新型一种晶圆环变距上料装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆环变距上料装置，其特征在于：包括固定工装、上料机构、调整机构；所述上料机构上设置有调整机构，所述调整机构上设置有固定工装，所述固定工装内设置有上料工位，所述上料机构输出端位于上料工位下方；所述调整机构包括旋转座、旋转机构、移动机构，旋转座中心开孔，上料机构输出端位于旋转座中心下方，旋转座与旋转机构传动连接，旋转座上设置有移动机构；所述固定工装包括限位柱、支撑环、托板，支撑环设置在旋转座上，支撑环上设置有托板，托板上形成上料工位，托板周向上均匀分布有限位柱，限位柱设置在对应的移动机构上，限位柱之间形成的内切圆与晶圆环尺寸相匹配；旋转机构、移动机构、旋转座相配合，在旋转座旋转过程中，通过移动机构在旋转座上等距移动，调节限位柱内切圆的直径。
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