晶通(高邮)集成电路有限公司冯杰善获国家专利权
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龙图腾网获悉晶通(高邮)集成电路有限公司申请的专利一种带通风口安全门结构的EFEM装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390505U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422648128.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种带通风口安全门结构的EFEM装置是由冯杰善设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带通风口安全门结构的EFEM装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于EFEM设备技术领域，具体为一种带通风口安全门结构的EFEM装置，其包括：EFEM设备和通流部件，EFEM设备包括设备机台、过滤网、安全门和凹槽，所述设备机台顶部设置过滤网，所述设备机台侧边设置安全门，所述安全门下部开设凹槽；通流部件设置在所述凹槽内，所述通流部件包括安装板和通孔，所述安装板设置在凹槽内，所述安装板内开设通孔，实现清洁气体从EFEM设备安全门开孔区部分流出，阻止了流向回流焊炉腔内部，保持了机台内部大于外界气压的清洁气体，有效解决了清洁气体流向回流焊炉腔内部。
本实用新型一种带通风口安全门结构的EFEM装置在权利要求书中公布了：1.一种带通风口安全门结构的EFEM装置，其特征在于，包括： EFEM设备100，包括设备机台110、过滤网120、安全门130和凹槽140，所述设备机台110顶部设置过滤网120，所述设备机台110侧边设置安全门130，所述安全门130下部开设凹槽140； 通流部件200，设置在所述凹槽140内，所述通流部件200包括安装板210和通孔220，所述安装板210设置在凹槽140内，所述安装板210内开设通孔220。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人晶通(高邮)集成电路有限公司，其通讯地址为：225600 江苏省扬州市高邮市新驰路29号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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