拓荆科技(上海)有限公司路希龙获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利抽气环件、工艺腔体及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386223U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422659252.7，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型抽气环件、工艺腔体及薄膜沉积设备是由路希龙;董文惠;刘振;吴凤丽;张强;唐仁鹏;薛国标;王思琦;刘英明;邓浩设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本抽气环件、工艺腔体及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了抽气环件、工艺腔体及薄膜沉积设备。抽气环件安装于工艺腔体的腔室中；抽气环件包括抽气衬套和抽气环；抽气衬套安装于腔室中，抽气衬套上开设有环形搭接槽；抽气环搭接于环形搭接槽中，抽气环与抽气衬套之间形成腔室与外部连接的抽气通道；腔室、抽气衬套和抽气环的连接处设有防漏件，防漏件用于消除腔室、抽气衬套和抽气环的连接处的公差间隙，以保证抽气通道的气密性。本实用新型通过防漏件消除腔室、抽气衬套和抽气环的连接处的公差间隙，保证抽气环件在抽气过程中具有较好的气密性，避免出现漏气的情况而影响工艺。
本实用新型抽气环件、工艺腔体及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种抽气环件，安装于工艺腔体的腔室中；其特征在于，所述抽气环件包括： 抽气衬套，安装于所述腔室中，所述抽气衬套上开设有环形搭接槽； 抽气环，搭接于所述环形搭接槽中，所述抽气环与所述抽气衬套之间形成所述腔室与外部连接的抽气通道； 其中，所述腔室、抽气衬套和抽气环的连接处设有防漏件，所述防漏件用于消除所述腔室、抽气衬套和抽气环的连接处的公差间隙，以保证所述抽气通道的气密性。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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