理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司杨飞云获国家专利权
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龙图腾网获悉理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利太阳能电池PECVD成膜用托盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422671599.3，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型太阳能电池PECVD成膜用托盘是由杨飞云;陈金元;马哲国;吴科俊;倪峻设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本太阳能电池PECVD成膜用托盘在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种太阳能电池PECVD成膜用托盘。所述太阳能电池PECVD成膜用托盘包括多个承载单元以及将多个承载单元分隔开的分隔区，每个承载单元包括承载本体、开设在承载本体上的凹槽以及围绕凹槽用于承载硅片的承载区，每个承载区在其每条边外侧的分隔区上设置有用于改善气流场和电磁场的卡块。本实用新型能提高承载在托盘中的硅片进行PECVD工艺时其上电磁场和气流场的均匀性，从而提高成膜均匀性以及太阳能电池的转换效率。
本实用新型太阳能电池PECVD成膜用托盘在权利要求书中公布了：1.一种太阳能电池PECVD成膜用托盘，包括多个承载单元以及将多个承载单元分隔开的分隔区，每个承载单元包括承载本体、开设在承载本体上的凹槽以及围绕凹槽用于承载硅片的承载区，其特征在于，每个承载区在其每条边外侧的分隔区上设置有用于改善气流场和电磁场的卡块。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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