苏州佑伦真空设备科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州佑伦真空设备科技有限公司申请的专利一种溅射镀膜机的温度检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386215U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422675883.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种溅射镀膜机的温度检测装置是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射镀膜机的温度检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提出一种溅射镀膜机的温度检测装置，包括夹持装置、升降装置，夹持装置设于升降装置一端上方，夹持装置包括晶圆抬升托盘，晶圆抬升托盘底部设有热电偶固定夹，热电偶固定夹上夹持有热电偶，热电偶的一端与晶圆底面接触，另一端设有导线，升降装置包括升降气缸和升降基座，升降气缸中部设有连接轴，连接轴顶部与升降基座底部连接，升降基座顶部一侧设有热电偶导向安装器，热电偶的导线绕托盘外缘至热电偶导向安装器的一端，从热电偶导向安装器的另一端穿过后沿升降基座向下引出至外部设备，将热电偶直接通过固定夹设置于晶圆下方，用于直接检测晶圆温度，且通过转接板与密封圈，使得热电偶的导线传输热量时整个空间保持在真空环境。
本实用新型一种溅射镀膜机的温度检测装置在权利要求书中公布了：1.一种溅射镀膜机的温度检测装置，包括夹持装置、升降装置（6），所述夹持装置设于升降装置（6）一端上方，其特征在于：所述夹持装置包括晶圆抬升托盘（3），用于夹持住晶圆（2），所述晶圆抬升托盘（3）底部设有热电偶固定夹（4），热电偶固定夹（4）上夹持有热电偶（1），所述热电偶（1）的一端与晶圆（2）底面接触，用于检测晶圆（2）温度，另一端设有导线（11），所述升降装置（6）包括升降气缸（61）和升降基座（62），所述升降气缸（61）中部设有连接轴，连接轴顶部与升降基座底部连接，通过升降气缸（61）控制晶圆抬升托盘（3）上升或下降，所述升降基座（62）顶部一侧设有热电偶导向安装器（5），所述热电偶（1）的导线（11）绕托盘外缘至热电偶导向安装器（5）的一端，从热电偶导向安装器（5）的另一端穿过后沿升降基座（62）向下引出至外部设备。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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