中芯国际集成电路制造(上海)有限公司赵海淼获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利一种传送装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390030U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422700442.9，技术领域涉及：G03F1/66；该实用新型一种传送装置是由赵海淼设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种传送装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种传送装置，用于转运光罩，包括：基座，所述基座的顶面设置有多个支撑杆，所述支撑杆用于承载所述光罩；盖体，所述盖体设置在所述基座顶面上并与所述基座的顶面形成封闭的腔室；以及缓冲部，所述缓冲部设置在所述支撑杆与所述基座之间，所述缓冲部的第一端面与所述支撑杆固定连接，所述缓冲部的第二端面与所述基座固定连接，所述缓冲部用于吸收转运过程中通过所述传送装置传输至所述光罩的外力。本申请提供的传送装置具有减震功能，可以降低光罩转运过程中微粒落在光罩上的几率和风险。
本实用新型一种传送装置在权利要求书中公布了：1.一种传送装置，用于转运光罩，其特征在于，包括： 基座，所述基座的顶面设置有多个支撑杆，所述支撑杆用于承载所述光罩； 盖体，所述盖体设置在所述基座顶面上并与所述基座的顶面形成封闭的腔室；以及 缓冲部，所述缓冲部设置在所述支撑杆与所述基座之间，所述缓冲部的第一端面与所述支撑杆固定连接，所述缓冲部的第二端面与所述基座固定连接，所述缓冲部用于吸收转运过程中通过所述传送装置传输至所述光罩的外力。
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