江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390542U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422736010.3，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构是由李刚;郭亚飞;殷驰;王禹涵;王鸿军设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构在说明书摘要公布了：本申请涉及一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，属于晶圆生产设备技术领域。单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构的转动件的外环上具有外齿，外齿同时与支撑柱驱动齿轮和配重体相啮合，配重体对转动件的转动起到了阻尼的作用，同时阻尼作用方向与转动件的转动方向保持了一致，能够稳定转动件地转动，降低振动，提高支撑柱卡紧晶圆时的安全性。
本实用新型一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构在权利要求书中公布了：1.一种单片晶圆清洗装置晶圆支撑盘上支撑柱驱动结构，其特征在于，包括： 盘面1，内部具有安装空间； 转动件2，包括内环21和外环22，所述内环21上具有内齿211，所述外环22上具有外齿221； 驱动件3，与所述内齿211啮合，用于驱动所述转动件2转动，使转动件2在初始状态到夹紧状态之间变化； 配重体7，包括旋转柱71，以及设置在旋转柱71上的凸块72，所述凸块72靠近所述旋转柱71的一端具有与所述外齿221相啮合的配重体齿轮721，所述凸块72的另一端向着远离所述旋转柱71的方向延伸并形成重物端722； 支撑柱驱动齿轮8，与所述外齿221相啮合，转动件2在初始状态到夹紧状态之间变化能够驱动支撑柱驱动齿轮8摆动。
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