江苏亚电科技股份有限公司李刚获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏亚电科技股份有限公司申请的专利一种晶圆翻转装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390541U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422730038.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种晶圆翻转装置是由李刚;童建;周兴江;吴鹏涛设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆翻转装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆翻转装置，属于晶圆生产设备技术领域。本申请的晶圆翻转装置，当旋转架朝向侧面时，机械手可以将晶圆装入夹紧块上，夹紧块在夹紧驱动机构的驱动下夹紧晶圆，旋转驱动件驱动旋转架转动九十度到朝向底面，机械手即可将晶圆取走，晶圆取走用于清洗，清洗后的晶圆再由其他部件从底部向上输送回晶圆翻转装置。夹紧齿分为两对，其中一对夹紧齿始终用于夹紧未清洗的晶圆，另一对夹紧齿始终用于夹紧清洗的晶圆，两种晶圆互不干扰，不会因为夹紧齿夹紧过未清洗的晶圆而造成污染，污染清洗过的晶圆。
本实用新型一种晶圆翻转装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括： 外框架1，至少具有两个相互垂直面上的开口； 旋转架2，设置在外框架1内； 夹紧块3，为平行的两块，分别设置在滑动地旋转架2相对的两面上； 夹紧齿4，设置在夹紧块3上，包括用于夹紧未清洗晶圆的第一夹紧齿42和用于夹紧已清洗晶圆的第二夹紧齿41； 旋转驱动件5，设置在所述外框架1上，用于驱动旋转架2做九十度转动； 夹紧驱动机构6，用于驱动所述夹紧块3动作使两块所述夹紧块3相互靠近或者远离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏亚电科技股份有限公司，其通讯地址为：225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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