武汉楚兴技术有限公司陈富锟获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种晶圆键合精度的检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223390506U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422738965.2,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆键合精度的检测装置是由陈富锟设计研发完成,并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合精度的检测装置在说明书摘要公布了:本申请公开一种晶圆键合精度的检测装置,该检测装置包括发光承载板和相机,发光承载板包括面光源和承载面,面光源用于产生光束,承载面用于承载待测晶圆;相机用于捕获待测晶圆的标记的图像,相机位于发光承载板的一侧且朝向承载面。本申请中的检测装置可以获得清晰的标记图像,具有较高的检测精度和稳定性。
本实用新型一种晶圆键合精度的检测装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆键合精度的检测装置,其特征在于,包括: 发光承载板,所述发光承载板包括面光源和承载面,所述面光源用于产生光束,所述承载面用于承载待测晶圆; 相机,所述相机用于捕获所述待测晶圆的标记的图像,所述相机位于所述发光承载板的一侧且朝向所述承载面。
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