芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司黄国鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利扩散炉装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223386288U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422745110.2，技术领域涉及：C30B31/10；该实用新型扩散炉装置是由黄国鹏;满益亮;蔡万和;关春龙设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本扩散炉装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种扩散炉装置，包括：内管体；外管体套装所述内管体；法兰件连接于所述外管体与所述内管体；喷嘴穿插于所述法兰件，且其一端位于所述外管体的外部，另一端位于所述内管体的内腔；支撑组件连接于所述法兰件，并位于所述喷嘴的底部，以对所述喷嘴进行支撑。本申请所提供的扩散炉装置利用支撑组件连接于喷嘴的底部，以对喷嘴进行支撑，能够大大减小喷嘴在运行过程中产生晃动情况，进而减少喷嘴与内管体内壁或晶舟外壁产生摩擦的情况，进一步大大减小因摩擦产生的颗粒对晶圆加工效果的影响。
本实用新型扩散炉装置在权利要求书中公布了：1.一种扩散炉装置，其特征在于，包括： 内管体（10）； 外管体（20），套装所述内管体（10）； 法兰件（30），连接于所述外管体（20）与所述内管体（10）； 喷嘴（40），穿插于所述法兰件（30），且其一端位于所述外管体（20）的外部，另一端位于所述内管体（10）的内腔； 支撑组件（50），连接于所述法兰件（30），并位于所述喷嘴（40）的底部，以对所述喷嘴（40）进行支撑； 其中，所述支撑组件（50）包括： 第一支撑件（510），其一端连接于所述喷嘴（40）的底部，另一端连接于所述法兰件（30）； 第一紧固件（520），插装于所述第一支撑件（510）与所述法兰件（30），以使得所述第一支撑件（510）连接于所述法兰件（30）。
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