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龙图腾网获悉理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利硅片翻转系统以及PECVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223391604U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422743270.3，技术领域涉及：H10F71/00；该实用新型硅片翻转系统以及PECVD设备是由刘洋;杨飞云;李朋设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片翻转系统以及PECVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供硅片翻转系统以及PECVD设备。硅片翻转系统设置在翻转腔中，包括n排第一吸盘杆组、n个平台、顶排第二吸盘杆组和翻转模块，翻转模块在n个载板传输至n个平台上方后，控制驱动n排第一吸盘杆组向下移动吸取硅片并上升复位，接着控制从翻转腔取出n个载板，然后控制驱动n排第一吸盘杆组旋转180度后驱动其向下移动通过相应平台的通道而将完成翻转的硅片放置在n个平台上后继续向下移动，然后控制驱动n排第一吸盘杆组旋转180度，再控制顶排吸盘杆和n排第一吸盘杆组向下移动且吸取n个平台上的硅片并上升，并在n个空载板至n个平台上方后将硅片放置到n个空载板中。本实用新型能有效减少吸嘴印、提高良品率并大幅提高太阳能电池产能。

本实用新型硅片翻转系统以及PECVD设备在权利要求书中公布了：1.一种硅片翻转系统，其设置在翻转腔中，其特征在于，包括： n排第一吸盘杆组，其层叠设置且由第一驱动模块驱动转动，并由第二驱动模块驱动进行上下移动，每排第一吸盘杆组包括m个第一吸盘杆，每个第一吸盘杆均包括设置在下端的p个吸盘； n个平台，其与所述n排第一吸盘杆组间隔设置，用于放置n个载板，每个平台上均设置有用于顶推载板升降的销柱以及容纳第一吸盘杆通过的多个通道； 顶排第二吸盘杆组，其层叠设置在所述n排第一吸盘杆组之上，由所述第二驱动模块驱动其进行上下移动，所述顶排第二吸盘杆组包括m个第二吸盘杆，每个第二吸盘杆包括设置在下端的p个吸盘； 翻转模块，其在相邻传输腔且层叠的n排机械臂将承载有硅片且层叠的n个载板传输至n个平台上方之后，控制所述第二驱动模块驱动n排第一吸盘杆组向下移动吸取硅片并上升复位，接着控制相邻传输腔的n排机械臂从所述翻转腔取出所述n个载板，然后控制所述第一驱动模块驱动所述n排第一吸盘杆组旋转180度后由所述第二驱动模块驱动其向下移动，且分别通过相应平台的通道而将完成翻转的硅片放置在n个平台上后继续向下移动预定距离，然后控制所述第一驱动模块驱动所述n排第一吸盘杆组旋转180度，再控制所述第二驱动模块驱动所述顶排吸盘杆以及所述n排第一吸盘杆组向下移动且吸取所述n个平台上的硅片并上升预定距离，由所述顶排吸盘杆组以及其下相邻的n-1排第一吸盘杆组在腔外的n排机械臂将n个空载板传输至n个平台上方之后，将所吸取的硅片放置到n个空载板中。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人理想万里晖半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区江山路2699弄3号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。