苏州艾斯达克智能科技有限公司沙伟中获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州艾斯达克智能科技有限公司申请的专利半导体晶圆盒转运装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390520U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422743714.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型半导体晶圆盒转运装置是由沙伟中设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体晶圆盒转运装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种半导体晶圆盒转运装置，具有高精度、高稳定性和高自动化水平，适用于半导体生产过程中的晶圆盒转运。该装置包括设置于底部区域的接驳台，接驳台上设有用于托举和传动晶圆盒的动力组件和凹槽传动结构，四周配备柔性材料制成的防震装置。天车位于装置的上部，沿导向系统轨道移动，以确保晶圆盒在不同区域间的顺畅转运。接驳台一侧设有机械手，机械手末端装有开放式“U”形结构的抓取装置，配有定位柱以适配晶圆盒底部的定位孔，从而保证晶圆盒定位的准确性。抓取装置上方安装自动感应装置，配合感应器实时监测晶圆盒的位置。动力组件采用皮带传动系统，确保晶圆盒平稳传动。
本实用新型半导体晶圆盒转运装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆盒转运装置，其特征在于，包括：设置于底部区域的接驳台，所述接驳台上表面设有用于托举和传动晶圆盒的动力组件，所述动力组件安装在接驳台的上部区域，用于驱动晶圆盒的移动； 所述接驳台四周安装有柔性材料制成的防震装置，在接驳台一侧设置有机械手，机械手包括水平移动机构和垂直升降机构，并在垂直升降机构的末端安装有开放式″U"形结构的抓取装置，接驳台上表面安装有用于检测晶圆盒位置的感应器； 所述抓取装置上方或侧面安装有自动感应装置，用于覆盖抓取装置的工作范围； 位于装置上部的天车通过导向系统沿接驳台上方的轨道移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州艾斯达克智能科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市苏州高新区泰山路2号和枫产业园中试创业基地A栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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