上海至纯半导体设备有限公司陈曦明获国家专利权
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龙图腾网获悉上海至纯半导体设备有限公司申请的专利一种炉管设备的晶舟结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390513U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422745748.6，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种炉管设备的晶舟结构是由陈曦明;冯凯设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种炉管设备的晶舟结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种炉管设备的晶舟结构，呈圆柱框架结构，包括若干轴向支柱，所述轴向支柱一端固定于底座上，另一端与顶板固定连接，所述底座与顶板之间通过多根平行的弧形杆固定若干轴向支柱，每根轴向支柱侧面均突出设置有多个相互平行的板，相邻板之间形成的槽用于放置晶圆，所述板的与所述晶圆接触的一面设有用于支撑所述晶圆边缘的台阶，所述台阶的面积小于所述板的面积。在不影响板强度的基础上，使晶圆与板的接触面积大幅减小，外边缘受遮挡面积也更小，提高晶圆利用率，提升生产效率。
本实用新型一种炉管设备的晶舟结构在权利要求书中公布了：1.一种炉管设备的晶舟结构，呈圆柱框架结构，包括若干轴向支柱，所述轴向支柱一端固定于底座上，另一端与顶板固定连接，所述底座与顶板之间通过多根平行的弧形杆固定若干轴向支柱，每根轴向支柱侧面均突出设置有多个相互平行的板，相邻板之间形成的槽用于放置晶圆，其特征在于，所述板的与所述晶圆接触的一面设有用于支撑所述晶圆边缘的台阶，所述台阶的面积小于所述板的面积。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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