合肥晶合集成电路股份有限公司许玉柱获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利一种退火炉的边缘承载环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390528U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422766715.X，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种退火炉的边缘承载环是由许玉柱;黄志平;董奥运设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种退火炉的边缘承载环在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种退火炉的边缘承载环，包括本体，本体从上至下依次设置有相互连通的圆台形通孔、圆柱形通孔和底部通孔；圆台形通孔的侧面上设置有多个滚珠，圆台形通孔的上表面的直径大于下表面的直径；圆台形通孔的下表面的直径等于圆柱形通孔的直径；圆柱形通孔的下表面的面积大于底部通孔的上表面的面积。当晶圆在退火过程中发生晶圆移位时，如果晶圆的一侧移动到滚珠上，由于晶圆的自重和滚珠的滚动作用，晶圆会滑落至圆柱形通孔的下表面所在的平台上，这样可以使机械手能正常从退火炉的腔体内取出晶圆，机械手不会夹破晶圆，不再需要停机人工手动取出晶圆，提高了机台的稼动率。
本实用新型一种退火炉的边缘承载环在权利要求书中公布了：1.一种退火炉的边缘承载环，其特征在于，包括本体，所述本体从上至下依次设置有相互连通的圆台形通孔、圆柱形通孔和底部通孔；所述圆台形通孔的侧面上设置有多个滚珠，所述圆台形通孔的上表面的直径大于下表面的直径；所述圆台形通孔的下表面的直径等于所述圆柱形通孔的直径；所述圆柱形通孔的下表面的面积大于所述底部通孔的上表面的面积。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励