深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请的专利气体喷淋头及气相处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223386225U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422772015.1,技术领域涉及:C23C16/455;该实用新型气体喷淋头及气相处理装置是由请求不公布姓名;张宗成;王千禧设计研发完成,并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体喷淋头及气相处理装置在说明书摘要公布了:本公开实施例公开了一种气体喷淋头及气相处理装置,所述气体喷淋头包括:第一充气室;包括进气口;进气口被配置为输入第一气体;第二充气室,与第一充气室连通;第一管道,位于第二充气室中,第一管道被配置为输入第二气体;第一管道在第一平面上连续的螺旋延伸,两圈相邻的螺线之间的间隙与第一充气室连通;第一平面与所述第一方向相交;封板,位于第二充气室在第一方向上远离第一充气室的一侧;封板与第二充气室远离第一充气室的一侧固定连接;第一喷嘴,贯穿封板;第一喷嘴与第一管道连通;第二喷嘴,贯穿封板;第二喷嘴与第一管道的两圈相邻的螺线之间的间隙连通。
本实用新型气体喷淋头及气相处理装置在权利要求书中公布了:1.一种气体喷淋头,其特征在于,包括: 第一充气室;包括进气口;所述进气口被配置为输入第一气体; 第二充气室,与所述第一充气室连通; 第一管道,位于所述第二充气室中,所述第一管道被配置为输入第二气体;所述第一管道在第一平面上连续的螺旋延伸,两圈相邻的螺线之间的间隙与所述第一充气室连通;所述第一平面与第一方向相交; 封板,位于所述第二充气室在所述第一方向上远离所述第一充气室的一侧;所述封板与所述第二充气室远离所述第一充气室的一侧固定连接; 第一喷嘴,贯穿所述封板;所述第一喷嘴与所述第一管道连通; 第二喷嘴,贯穿所述封板;所述第二喷嘴与所述第一管道的两圈相邻的螺线之间的间隙连通。
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