楚赟精工科技(上海)有限公司左志耀获国家专利权
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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利基片承载装置及半导体设备工艺腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390544U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422786806.X，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型基片承载装置及半导体设备工艺腔室是由左志耀;马法君;龙云峰;吴怡;刘明军设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本基片承载装置及半导体设备工艺腔室在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基片承载装置及半导体设备工艺腔室，该基片承载装置包括中部区域及围绕中部区域的承载区域，承载区域上设有间隔排列的至少两个凹穴，每个凹穴用于承载基片。相邻凹穴之间的间隔区域内或者中部区域内设置有凹陷结构，以用于对基片承载装置进行测距，基于凹陷结构的测距信息形成的跳变信号以及各凹穴相对凹陷结构的位置信息指示光学检测装置只针对凹穴内的基片的沉积材料层进行采样。凹陷结构设置于相邻凹穴之间的间隔区域内，或者设置于中部区域内，减少或避免了基片承载装置在旋转过程中发生抖动对测距装置扫描并采集到的凹陷结构测距数据准确性产生不利影响，提高了测试准确性。
本实用新型基片承载装置及半导体设备工艺腔室在权利要求书中公布了：1.一种基片承载装置，其特征在于，包括： 中部区域； 承载区域，围绕所述中部区域，并设有间隔排列的至少两个凹穴，各所述凹穴用于承载基片； 凹陷结构，设置于相邻所述凹穴之间的间隔区域内，或者设置于所述中部区域内，以用于测距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人楚赟精工科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201210 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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