上海宏轶电子科技有限公司黄运军获国家专利权
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龙图腾网获悉上海宏轶电子科技有限公司申请的专利一种晶圆传输翻转机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390521U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422791275.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆传输翻转机构是由黄运军设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆传输翻转机构在说明书摘要公布了：一种晶圆传输翻转机构，属于晶圆生产辅助设备技术领域，包括PLC、旋转气缸、真空气动吸盘、机架板，还具有位移机构和调节机构；调节机构包括直线滑轨、电动丝杠滑台、伸缩气缸，直线滑轨后侧安装在机架板前上端，电动丝杠滑台后侧端安装在直线滑轨滑动块前侧；电动丝杠滑台滑动块前侧端安装滑台伸缩气缸，滑台伸缩气缸的活动柱外侧安装有连接板，连接板前侧端安装有轴承，旋转气缸安装在连接板前侧外端且其转轴安装在轴承的内圈内，旋转气缸的转轴位于连接板内侧端位置安装有固定板，真空气动吸盘安装在固定板的下端；位移机构安装在机架板下端。本新型能通过真空吸盘吸附金属环圈侧端、并对其进行翻面后，自动运输到下一工序进行加工。
本实用新型一种晶圆传输翻转机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输翻转机构，包括PLC、旋转气缸、真空气动吸盘、机架板，其特征在于，还具有位移机构和调节机构；所述调节机构包括直线滑轨、电动丝杠滑台、滑台伸缩气缸，直线滑轨的导向座安装在机架板前上端，电动丝杠滑台的固定板后侧端安装在直线滑轨的滑动块前侧端；所述电动丝杠滑台的滑动块前侧端安装有支撑板，滑台伸缩气缸的固定板安装在支撑板前部侧端，滑台伸缩气缸的活动柱外侧安装有连接板，连接板前侧端安装有轴承，旋转气缸安装在连接板前侧外端且其转轴安装在轴承的内圈内，旋转气缸的转轴位于连接板内侧端位置安装有固定块，真空气动吸盘安装在固定板的下端；所述位移机构安装在机架板下端。
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