拓荆科技股份有限公司姜全昌获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390523U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422822517.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备是由姜全昌设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备，双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门，两个装载区由隔离门间隔；其特征在于，晶舟交换机构用于将两个装载区中的晶舟进行交换，晶舟交换机构包括运动臂、两个抓取部和驱动部；运动臂设置于隔离门的门口底部；两个抓取部设置于运动臂上且分别用于抓取两个装载区中的晶舟；驱动部设置于隔离门的门口底部且与运动臂连接，驱动部用于驱动运动臂运动并带动两个抓取部在两个装载区中移动交换。本实用新型先通过两个抓取部抓取两个装载区中的两个晶舟后，再由驱动部带动运动臂进行旋转，以连动两个抓取部在两个装载区中进行旋转交换，从而实现两个装载区中的晶舟交换需求。
本实用新型一种晶舟交换机构及双腔三晶舟的晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶舟交换机构，应用于双腔三晶舟的晶圆加工设备，所述双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门，两个装载区由隔离门间隔；其特征在于，所述晶舟交换机构用于将两个装载区中的晶舟进行交换，所述晶舟交换机构包括： 运动臂，设置于所述隔离门的门口底部； 两个抓取部，设置于所述运动臂上且分别用于抓取两个装载区中的晶舟； 驱动部，设置于所述隔离门的门口底部且与所述运动臂连接，所述驱动部用于驱动所述运动臂运动并带动两个抓取部在两个装载区中移动交换。
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