拓荆科技股份有限公司姜全昌获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223390508U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422822803.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备是由姜全昌设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备。双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门，两个装载区由隔离门间隔；循环冷却净化装置用于向装载区中的晶舟位置通入气体并进行吹扫，循环冷却净化装置包括对称设置于两个装载区中的两组循环冷却净化组件；两组循环冷却净化组件分别在两个装载区中进行吹扫清洁和冷却。本实用新型的循环冷却净化组件可以使通入的气体进行撞击反射后再有方向性地到达晶舟位置，可对晶舟和晶舟上的晶圆进行均匀地吹扫，以实现清洁和冷却，并且气体经过反射后有效降低了高压力大流量的气体对晶圆与晶舟的直接冲击，具有缓冲作用。
本实用新型一种循环冷却净化装置及双腔三晶舟的晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种循环冷却净化装置，应用于双腔三晶舟的晶圆加工设备，所述双腔三晶舟的晶圆加工设备包括两个装载区和隔离门，两个装载区由隔离门间隔；其特征在于，所述循环冷却净化装置用于向所述装载区中部的晶舟位置通入气体并进行吹扫，所述循环冷却净化装置包括： 多个循环冷却净化组件，以所述隔离门为中心对称设置于两个装载区中； 所述循环冷却净化组件包括设置于所述装载区内的进气部、导流部和回气部；所述进气部的气体流出方向朝向所述导流部，所述导流部的导流面倾斜设置并可改变气体的流向，所述导流部使气体至少经过一次撞击反射后达到所述装载区的晶舟位置，所述回气部用于对所述装载区内部进行抽气。
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