合肥晶合集成电路股份有限公司赵丽云获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利晶圆盒检测设备及晶圆盒系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223389423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422819587.0,技术领域涉及:G01M13/00;该实用新型晶圆盒检测设备及晶圆盒系统是由赵丽云;徐全柱;王博;朱程义设计研发完成,并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒检测设备及晶圆盒系统在说明书摘要公布了:本公开涉及集成电路技术领域,特别是涉及一种晶圆盒检测设备及晶圆盒系统。晶圆盒检测设备包括:承载台,具有顶面与侧壁,顶面用于承载晶圆盒,晶圆盒用于存放晶圆,晶圆盒具有开关面,开关面设有多个卡扣,多个卡扣用于将尺骨固定至开关面,尺骨用于排列晶圆;检测器件,固定于承载台侧壁,用于检测所述尺骨的卡合情况;转移装置,用于将开关面转移至与检测器件相对设置的位置。通过在承载台设置检测器件,并在转移装置配合下,将开关面转移至与检测器件相对设置的位置后,通过检测器件可以快速确定尺骨的卡合情况,从而不需要工人打开晶圆盒,确保了晶圆盒不被环境污染。
本实用新型晶圆盒检测设备及晶圆盒系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒检测设备,其特征在于,包括: 承载台,具有顶面与侧壁,所述顶面用于承载晶圆盒,所述晶圆盒用于存放晶圆,所述晶圆盒具有开关面,所述开关面设有多个卡扣,所述多个卡扣用于将尺骨固定至所述开关面,所述尺骨用于排列晶圆; 检测器件,固定于所述承载台侧壁,用于检测所述尺骨的卡合情况; 转移装置,用于将所述开关面转移至与所述检测器件相对设置的位置。
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