河北光森电子科技有限公司耿林茹获国家专利权
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龙图腾网获悉河北光森电子科技有限公司申请的专利一种晶圆快速热处理密封机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223387214U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422833082.X，技术领域涉及：E06B7/16；该实用新型一种晶圆快速热处理密封机构是由耿林茹;白晔茹;高伦设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆快速热处理密封机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆快速热处理密封机构，具体涉及晶圆热处理技术领域包括外框机构，所述外框机构的内部固定安装有开合机构，所述外框机构的内部通过开合机构活动杆有密封门机构，所述外框机构包括安装外框，所述安装外框的内部固定安装有盖缝板，所述密封门机构包括密封门扇，所述密封门扇靠近盖缝板的一侧固定安装有气囊。该晶圆快速热处理密封机构，通过设置的锁销和锁套之间的配合将密封门扇固定在安装外框的内部，通过第二齿轮带动第二齿条位移，进而带动锁销在锁套的内部位移，调整锁销和锁套之间的锁止状态，当密封门扇锁止在安装外框的内部时，通过气囊将耐高温密封条挤压至盖缝板的一侧完成密封。
本实用新型一种晶圆快速热处理密封机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆快速热处理密封机构，包括外框机构1，所述外框机构1的内部固定安装有开合机构2，所述外框机构1的内部通过开合机构2活动杆有密封门机构3，所述外框机构1包括安装外框101，所述安装外框101的内部固定安装有盖缝板102，其特征在于：所述密封门机构3包括密封门扇301，所述密封门扇301靠近盖缝板102的一侧固定安装有气囊302，所述气囊302靠近盖缝板102的一侧固定安装有耐高温密封条303，所述耐高温密封条303活动安装在密封门扇301的一侧，所述密封门扇301远离安装外框101的一侧固定安装有第二限位套304，所述密封门扇301的一侧通过第二限位套304滑动安装有锁销305，所述安装外框101的一侧固定安装有锁套306，所述密封门扇301的一侧固定安装有安装架307，所述安装架307的一侧旋转安装有第二齿轮308，所述锁销305的顶部固定安装有第二齿条309，所述第二齿轮308啮合连接在第二齿条309的顶部。
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