南京泛铨电子科技有限公司柳纪纶获国家专利权
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龙图腾网获悉南京泛铨电子科技有限公司申请的专利一种平整固定晶圆小晶粒平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223389171U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423144433.2,技术领域涉及:G01B21/30;该实用新型一种平整固定晶圆小晶粒平台是由柳纪纶;陈荣钦;曾国翔设计研发完成,并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种平整固定晶圆小晶粒平台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种平整固定晶圆小晶粒平台,涉及芯片检测技术领域,包括内部为中空结构的载物台,载物台顶端的后部固定安装有纵向支架,纵向支架的顶端固定安装有横向支架,横向支架底端的前部固定安装有伸缩机构,伸缩机构的执行端固定安装有平整头,载物台的顶端前侧设置有主控单元,主控单元包括安装于载物台内的主控板、嵌入载物台顶端的显示器和设置于显示器右侧载物台上的多个控制按钮,主控板分别与伸缩机构、显示器和多个控制按钮信号连接,本实用新型通过伸缩机构驱动平整头对晶圆小晶粒进行精确平整,确保小晶粒底端与载具顶端完全贴合,提高晶圆的质量与性能。
本实用新型一种平整固定晶圆小晶粒平台在权利要求书中公布了:1.一种平整固定晶圆小晶粒平台,其特征在于,包括内部为中空结构的载物台1,所述载物台1顶端的后部固定安装有纵向支架2,所述纵向支架2的顶端固定安装有横向支架21,所述横向支架21底端的前部固定安装有伸缩机构3,所述伸缩机构3的执行端固定安装有平整头4,所述载物台1的顶端前侧设置有主控单元6,所述主控单元6包括安装于载物台1内的主控板61、嵌入载物台1顶端的显示器62和设置于显示器62右侧载物台1上的多个控制按钮63,所述主控板61分别与伸缩机构3、显示器62和多个控制按钮63信号连接。
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