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睿创微电子(烟台)有限公司刘天德获国家专利权

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龙图腾网获悉睿创微电子(烟台)有限公司申请的专利一种像元结构及其制作方法、非制冷红外偏振探测器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119349497B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411884174.9,技术领域涉及:B81B7/02;该发明授权一种像元结构及其制作方法、非制冷红外偏振探测器是由刘天德;史杰;董珊设计研发完成,并于2024-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种像元结构及其制作方法、非制冷红外偏振探测器在说明书摘要公布了:本发明涉及红外成像领域,公开了一种像元结构及其制作方法、非制冷红外偏振探测器,包括:像元阵列和封帽结构,像元阵列包括多个像元,封帽结构位于像元的上方并对像元真空封装;封帽结构包括封帽支撑层、微偏振片结构层、红外窗口层和通道;封帽支撑层与像元连接,微偏振片结构层和红外窗口层依次层叠在位于封帽支撑层的上表面;通道贯穿微偏振片结构层和封帽支撑层,红外窗口层填满通道;微偏振片结构层具有纳米线栅结构。封帽结构对像元进行真空封装,即本发明采用像元级封装,避免繁杂和昂贵的常规真空封装流程,提升封装效率,降低封装成本,可以降低探测器的体积和重量,使得器件具有小型化和轻量化的特点。

本发明授权一种像元结构及其制作方法、非制冷红外偏振探测器在权利要求书中公布了:1.一种非制冷红外偏振探测器的像元结构,其特征在于,包括: 像元阵列和封帽结构,所述像元阵列包括多个像元,所述封帽结构位于所述像元的上方并对所述像元真空封装;所述像元包括基底(1)和微桥结构(5),所述微桥结构(5)包括桥面(51)、桥腿(52)和桥墩(53);基底(1)包括包含读出电路的衬底、金属块(2)、吸气剂层(4)和绝缘介质层(3),金属块(2)、绝缘介质层(3)和吸气剂层(4)位于衬底上,绝缘介质层(3)部分覆盖在金属块(2)上,绝缘介质层(3)上设有开口以使金属块(2)局部上表面露出;封帽结构的侧壁具有减少相邻像元之间光学串扰的作用; 所述封帽结构包括封帽支撑层(6)、微偏振片结构层(7)、红外窗口层(9)和通道(8);所述封帽支撑层(6)与所述像元连接,所述微偏振片结构层(7)和所述红外窗口层(9)依次层叠在位于所述封帽支撑层(6)的上表面;所述通道(8)贯穿所述微偏振片结构层(7)和封帽支撑层(6),所述红外窗口层(9)填满所述通道(8);所述微偏振片结构层(7)具有纳米线栅结构。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人睿创微电子(烟台)有限公司,其通讯地址为:265599 山东省烟台市开发区万寿山路5号内2号楼3001号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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