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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119780040B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411921166.7，技术领域涉及：G01N21/49；该发明授权一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法是由王伟波;叶淑娇;吴必伟;谭久彬设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提出一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法，属于柔性衬底表面颗粒检测技术领域，解决了可见光波段低照明功率条件下纳米级颗粒检测灵敏度低的问题，其中检测装置包括：激光器、准直透镜、第一光阑、偏振态调制模块、第一分光棱镜、平面反射镜、压电驱动器、无限远校正显微物镜、样品、三维压电扫描台、二维粗调位移台、第二分光棱镜、管镜、相机、宽场照明光源、第二光阑、第一透镜、第三光阑、第二透镜、二象限光电探测器、弱信号放大电路、数据采集模块、计算机控制系统。

本发明授权一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种相位差分相干傅里叶散射表面颗粒检测方法，其特征在于， 所述表面颗粒检测方法应用的装置包括： 激光器（1）、准直透镜（2）、第一光阑（3）、偏振态调制模块（4）、第一分光棱镜（5）、平面反射镜（6）、压电驱动器（7）、无限远校正显微物镜（8）、样品（9）、三维压电扫描台（10）、二维粗调位移台（11）、第二分光棱镜（12）、管镜（13）、宽场照明光源（14）、第二光阑（15）、第三分光棱镜（16）、相机（17）、第一透镜（18）、第三光阑（19）、第二透镜（20）、二象限光电探测器（21）、弱信号放大电路（22）、数据采集模块（23）、计算机控制系统（24）； 所述表面颗粒检测方法，包括： 步骤1：开启宽场照明光源（14），经第二光阑（15）、第三分光棱镜（16）反射后由管镜（13）出射，出射的光经第二分光棱镜（12）反射和第一分光棱镜（5）透射后进入无限远校正显微物镜（8）进行聚焦，实现对样品（9）的宽场照明，设置相机（17）对样品（9）进行成像，使样品（9）位于无限远校正显微物镜（8）焦平面，根据成像结果，通过二维粗调位移台（11）调整样品（9）的位置，直至样品（9）表面待检测区域位于视场中央； 步骤2：关闭宽场照明光源（14），开启激光器（1），激光器（1）发出的激光经过准直透镜（2）、第一光阑（3）和偏振态调制模块（4）后由第一分光棱镜（5）进行反射和透射，由第一分光棱镜（5）透射的光照射到压电驱动器（7）控制的平面反射镜（6）的表面进行反射，由第一分光棱镜（5）反射的光经无限远校正显微物镜（8）实现对样品（9）的明场相干点照明，调整样品（9）位置，使样品（9）严格位于无限远校正显微物镜（8）的焦平面上； 步骤3：明场相干照明光经无限远校正显微物镜（8）聚焦后的光斑与样品（9）表面发生镜面反射、颗粒散射和散射-反射的相互作用，无限远校正显微物镜（8）收集的携带样品表面信息的信号光经第一分光棱镜（5）透射后与第一分光棱镜（5）反射的来自平面反射镜（6）的参考光发生干涉，干涉光由第二分光棱镜（12）反射后经管镜（13）聚焦到相机（17）所在的平面，实现相机（17）对样品（9）表面的成像点探测以实时确保样品（9）位于无限远校正显微物镜（8）焦平面； 步骤4：由第二分光棱镜（12）透射的干涉光经第一透镜（18）聚焦和第三光阑（19）滤波后由第二透镜（20）出射，将二象限光电探测器（21）置于无限远校正显微物镜（8）后焦面的共轭平面，以收集反射光、颗粒散射光和散射反射光与参考光在远场的干涉信号，实现对样品（9）与高数值孔径照明光斑相互作用后产生的信号的探测； 步骤5：将二象限光电探测器（21）探测到的两个远场强度信号分别输入弱信号放大电路（22）进行弱信号放大后输入至数据采集模块（23），并通过数据采集模块（23）输入至计算机控制系统（24），通过计算机控制系统（24）内的相位差测量程序计算两个光电信号的相位差； 步骤6：移动样品（9）使扫描起点位于表面无颗粒的位置，微调二象限光电探测器（21）的位置使远场相位差分测量值为0，以确保携带样品（9）表面信息的光束中心与二象限光电探测器（21）的中心重合； 步骤7：通过计算机控制系统（24）驱动三维压电扫描台（10）实现对样品（9）进行XY方向的扫描，控制压电驱动器（7）的振荡周期和幅度以实现对参考光相位的连续调制，同时记录每个扫描位置的相位差测量值，通过对扫描数据的逐行读取构建完整扫描区域的相位差测量值图像； 步骤8：基于相位差测量值图像，通过峰值定位算法和粒径估计算法确定颗粒的位置和尺寸，构建样品（9）的缺陷检测结果报告，其中，颗粒位置通过峰值定位算法找到的峰-谷谷-峰信号间的过零点位置确定，颗粒尺寸估计通过峰-谷谷-峰信号所占据的像素面积或峰峰值确定。

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