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探维科技(苏州)有限公司李洪鹏获国家专利权

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龙图腾网获悉探维科技(苏州)有限公司申请的专利一种高精度光栅尺系统以及测量设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119958428B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411944026.1,技术领域涉及:G01B11/02;该发明授权一种高精度光栅尺系统以及测量设备是由李洪鹏;郭朋军;李少华;冀建勇;时菲菲设计研发完成,并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

一种高精度光栅尺系统以及测量设备在说明书摘要公布了:本申请公开了一种高精度光栅尺系统以及测量设备。涉及超精密位移测量领域,该高精度光栅尺系统包括:反射光栅,设置在第一待测目标上;光栅尺读数头,与反射光栅相对设置在第二待测目标上,用于在检测到第一待测目标与第二待测目标发生相对位移的情况下,输出增量信号以及零位信号;控制模块,与光栅尺读数头通信连接,用于接收增量信号以及零位信号,并通过增量信号以及零位信号,确定第一待测目标与第二待测目标之间发生的相对位移量。通过本申请,解决了相关技术中激光干涉仪、电容传感器等超精密测量仪器在实际的测量应用中存在局限性问题的技术问题。

本发明授权一种高精度光栅尺系统以及测量设备在权利要求书中公布了:1.一种高精度光栅尺系统,其特征在于,包括: 反射光栅,设置在第一待测目标上; 光栅尺读数头,与所述反射光栅相对设置在第二待测目标上,用于在检测到所述第一待测目标与所述第二待测目标发生相对位移的情况下,输出增量信号以及零位信号; 控制模块,与所述光栅尺读数头通信连接,用于接收所述增量信号以及所述零位信号,并通过所述增量信号以及所述零位信号,确定所述第一待测目标与所述第二待测目标之间发生的相对位移量;所述控制模块还包括激光器恒流源供电单元,用于为所述激光器供电;所述控制模块还包括光电探测器偏置电压稳压供电单元,用于为所述光栅尺读数头中的零位光电探测器以及光电探测器组供电; 所述光栅尺读数头还包括:激光器,用于发射初始光束;零位信号测量模块,用于将所述初始光束处理成零位测量光以及增量测量光,并将所述零位测量光转换成所述零位信号;增量信号测量模块,用于接收所述增量测量光,并将所述增量测量光转换为所述增量信号; 所述增量信号测量模块还包括:直角棱镜,用于接收并反射所述增量测量光;增量透射光栅,用于接收垂直入射的所述增量测量光,并将透射出的所述增量测量光入射至增量反射光栅,以形成多路干涉信号;光电探测器组,包括多个光电探测器,用于接收以及转换所述多路干涉信号,得到所述增量信号; 其中,所述探测器组包含三个所述探测器,所述多路干涉信号为三路干涉信号,测量三个所述探测器对应的所述三路干涉信号的光强中分别对应的三个直流量与三个交流量,以及所述三路干涉信号对应的三个初相位,将所述三个直流量与所述三个交流量以及所述三个初相位,转换为相位恒定差为π的两路正余弦信号,通过测得所述两路正余弦信号的实时相位,获得所述相对位移量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人探维科技(苏州)有限公司,其通讯地址为:215133 江苏省苏州市相城区高铁新城太阳路2266号5幢(1号楼)903室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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