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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所王之一获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984087B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510003548.X,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法是由王之一;冯晓鹏;王建立;刘昌华;贾建禄设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。

基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法在说明书摘要公布了:本发明涉及光学检测领域,尤其涉及一种基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法,光源产生的白光经第一准直透镜准直,再经偏振分光棱镜分为S偏振光和P偏振光,S偏振光经第一四分之一波片入射至参考平面镜,并携带参考表面信息返回偏振分光棱镜,P偏振光经第二四分之一波片入射至一闪耀光栅进行横向色散,再经第一消色差透镜变为不同波长相同焦距的单色偏振光,共同聚焦于待测物体的同一深度位置,携带待测物体信息返回偏振分光棱镜,两束偏振光合束后通过聚焦透镜聚焦于放置一块掩模板的成像光谱仪的光电探测器的靶面,得到待测物体的干涉图像,进行光谱与干涉分析。本发明能够提高横向扫描速度,缩短测量时间,还能提高分辨率。

本发明授权基于空间编码的干涉共焦测量系统及其测量方法在权利要求书中公布了:1.一种基于空间编码的干涉共焦测量系统,其特征在于,包括光源、第一准直透镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、偏振分光棱镜、参考平面镜、第一闪耀光栅、光阑、第一消色差透镜、位移台、聚焦透镜、针孔、掩模板和成像光谱仪;其中, 光源用于发出白光; 第一准直透镜用于将白光准直为平行光; 偏振分光棱镜用于将平行光分成S偏振光和P偏振光,S偏振光作为参考光,P偏振光作为测量光; 第一四分之一波片用于将作为参考光的S偏振光变为左旋圆偏振光; 参考平面镜用于对左旋圆偏振光进行反射,使左旋圆偏振光变为右旋圆偏振光,右旋圆偏振光经第一四分之一波片变为P偏振光,返回偏振分光棱镜; 第二四分之一波片用于将作为测量光的P偏振光变为右旋圆偏振光; 第一闪耀光栅用于对右旋圆偏振光进行色散,将右旋圆偏振光分解成不同波长的单色偏振光; 光阑用于控制单色偏振光的进光量; 第一消色差透镜用于对不同波长的单色偏振光的色差进行校正,使不同波长的单色偏振光的焦点相同,同时聚焦到待测物体上,经待测物体的表面反射变为左旋圆偏振光,再经第二四分之一波片变为S偏振光,返回偏振分光棱镜; 聚焦透镜用于对不同偏振态的光进行聚焦; 针孔用于抑制离焦光; 掩模板用于使不同偏振态的光透过时发生干涉; 成像光谱仪用于采用色散共焦干涉测量原理,对待测物体进行三维信息测量; 位移台用于承载待测物体,带动待测物体进行x方向和y方向的运动,x方向为待测物体的深度方向,y方向为待测物体的纵向。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,其通讯地址为:130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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