合肥工业大学张亚超获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法与加工系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119839468B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510165958.4，技术领域涉及：B23K26/38；该发明授权提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法与加工系统是由张亚超;刘瑞祥;吴思竹;劳召欣设计研发完成，并于2025-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法与加工系统在说明书摘要公布了：本发明属于激光加工领域，具体涉及一种提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法与加工系统。该方法通过在先加工目标表面覆盖由特定材质和厚度的盖板以及缓冲层材料，再进行飞秒激光加工的方式，实现在半导体材料和玻璃材料的表面加工出具有更高加工质量，且微槽宽度更加窄小、垂直度更高的微槽阵列。该方案还结合大量真实的实验数据构建了一个工艺数据库，进而实现在对任意材料的加工目标进行切割或进行表面处理，均可以结合工况需求快速确定最佳的加工参数，进而实现加工效率与加工质量的同步提升。本发明的方案可以有效克服传统飞秒激光加工技术在某些场景下存在的分辨率不足和加工质量不高的问题。
本发明授权提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法与加工系统在权利要求书中公布了：1.一种提升飞秒激光加工出的微槽垂直度的方法，其特征在于，其包括： 将待加工目标的材质和目标深度作为工况需求，根据工况需求查询一个工艺数据库，得到满足加工要求的若干个候选工艺组合；每个工艺组合由一组盖板材质、盖板厚度、激光功率和扫描次数的值构成； 在清洁后的待加工目标表面的加工区域涂布缓冲层材料，然后根据选择的工艺组合在缓冲层上方覆盖对应规格的盖板；最后对盖板与待加工目标的组合体进行固定，并按照预设的加工参数从盖板一侧入射飞秒激光，以实现在待加工目标表面加工出指定结构的微槽； 所述工艺数据库是一种结合真实实验数据建立的，用于表征飞秒激光加工系统采用任意指定激光功率和扫描次数，在覆盖有使用任意材质和厚度的盖板的指定材质的待加工目标表面进行加工时所能达到的满足垂直度要求的微槽的最大深度。
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